中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所取得重要突破，成功實現(xiàn)了III-V族半導(dǎo)體量子點光源與CMOS工藝兼容的碳化硅光子芯片異質(zhì)集成。這一創(chuàng)新性的混合集成方案，將含InAs量子點的GaAs波導(dǎo)精準堆疊至4H-SiC電光材料制備的微環(huán)諧振腔上，形成回音壁模式的平面局域光場。

進一步研究中，在片上集成微型加熱器后，研究人員實現(xiàn)了對量子點激子態(tài)光譜范圍的寬達4nm的調(diào)諧。這一片上熱光調(diào)諧能力使得腔模與量子點光信號達到精準匹配，實現(xiàn)了微腔增強的確定性單光子發(fā)射。實驗證明，該技術(shù)在4H-SiC光子芯片上具有擴展?jié)摿Γ⒛芸朔煌⑶婚g固有頻率差異帶來的問題。

這項新技術(shù)結(jié)合了高純度和CMOS工藝兼容性，并且有望推動實用化的光量子網(wǎng)絡(luò)發(fā)展。