作為全球唯一能生產(chǎn)EUV光刻機的公司,荷蘭ASML公司去年出售了26臺EUV光刻機,主要用于臺積電、三星的7nm及今年開始量產(chǎn)的5nm工藝,預(yù)計今年出貨35臺EUV光刻機。

目前ASML出貨的光刻機主要是NXE:3400B及改進(jìn)型的NXE:3400C,兩者基本結(jié)構(gòu)相同,但NXE:3400C采用模塊化設(shè)計,維護(hù)更加便捷,平均維修時間將從48小時縮短到8-10小時,支持7nm、5nm。

此外,NXE:3400C的產(chǎn)能也從之前的125WPH(每小時處理晶圓數(shù))提升到了175WPH。

不論NXE:3400B還是NXE:3400C,目前的EUV光刻機還是第一代,主要特點是物鏡系統(tǒng)的NA(數(shù)值孔徑)為0.33。

根據(jù)光刻機的分辨率公式,NA數(shù)字越大,光刻機精度還會更高,ASML現(xiàn)在還研發(fā)NA 0.55的新一代EUV光刻機EXE:5000系列,主要合作伙伴是卡爾蔡司、IMEC比利時微電子中心。

EXE:5000系列的下一代光刻機主要面向后3nm時代,目前三星、臺積電公布的制程工藝路線圖也就到3nm,2nm甚至1nm工藝都還在構(gòu)想中,要想量產(chǎn)就需要新的制造裝備,新一代EUV光刻機是重中之重。

根據(jù)ASML的信息,EXE:5000系列光刻機最快在2021年問世,不過首發(fā)的還是樣機,真正用于生產(chǎn)還得等幾年,樂觀說法是2023年或者2024年才有可能看到NA 0.55的EXE:5000系列光刻機上市。