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通用智能SiC晶錠8寸剝離產(chǎn)線正式交付客戶

作者: 時間:2023-12-18 來源:SEMI 收藏

據(jù)通用智能官微消息,日前,通用智能裝備有限公司SiC8寸剝離產(chǎn)線正式交付客戶。

本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/202312/453985.htm

目前,SiC主要通過砂漿線/金剛石線切割,效率低和損耗高。據(jù)悉,通用智能采用激光隱切技術(shù)完成SiC分割工藝過程,并成功實現(xiàn)8寸晶錠剝離設(shè)備的量產(chǎn)。




關(guān)鍵詞: 碳化硅 晶錠

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