佳能新發(fā)售KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”Grade10升級包
佳能將于2022年8月初發(fā)售KrF ※1半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產(chǎn)能升級配件包(以下簡稱“Grade10”升級包)。KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a” 自發(fā)售至今,已經(jīng)在生產(chǎn)存儲器和邏輯電路的大型半導體器件制造廠商中收獲良好口碑,此次發(fā)布的“Grade10”升級包將助力該設備在300mm晶圓規(guī)格基礎上,以每小時高達300片※2晶圓的加工能力實現(xiàn)半導體光刻行業(yè)內的更高水平※3。
本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/202206/435109.htm |
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佳能半導體光刻機“FPA-6300ES6a” | 投入工廠運行的“FPA-6300ES6a”設備 |
隨著市場對半導體器件需求的持續(xù)增長,半導體器件制造廠商也在不斷尋求具備更高生產(chǎn)能力的半導體光刻設備。自2012年4月推出KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”以來,佳能在提升設備生產(chǎn)能力的過程中不斷實現(xiàn)產(chǎn)品的升級與迭代,并在市場中贏得了客戶群體的廣泛認可和高度信賴。
新發(fā)布的“Grade10”升級包能夠在300mm晶圓規(guī)格基礎上,實現(xiàn)每小時300片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外,這一升級包將于2023年在KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的200mm兼容設備上得到應用。
實現(xiàn)行業(yè)更高水準的生產(chǎn)效率
“Grade10”升級包通過加快工作臺和傳送系統(tǒng)的驅動,縮短了曝光時間和傳輸時間,以每小時300片晶圓的產(chǎn)能,實現(xiàn)半導體光刻行業(yè)的更高水準生產(chǎn)。同時,這是佳能在半導體光刻設備上首次搭載基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡※4的工作臺控制系統(tǒng),減少高速驅動產(chǎn)生的振動,以保持高精度光刻水準。此外,通過選取套刻精度(Overlay)配件,在提升產(chǎn)能的同時,更可實現(xiàn)高達4nm※5的套刻精度。
支持現(xiàn)有設備的升級
對于已經(jīng)在半導體器件制造廠商中投入使用的KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a” ※6,無需更換設備即可通過使用“Grade10”升級包進一步提高生產(chǎn)效率。
未來,佳能將繼續(xù)帶來多樣化的解決方案,并提供能夠有效提升生產(chǎn)效率的配件升級,更好地滿足半導體光刻設備市場的需求。
*1 使用波長248nm,由氪(Kr)氣體和氟(F)氣體產(chǎn)生的激光的半導體光刻機。1納米(納米)是10億分之一米。*2在300mm晶圓規(guī)格基礎上和96次曝光條件下,每小時的晶圓曝光處理數(shù)量。
*3在支持300mm晶圓規(guī)格的KrF半導體曝光設備中;統(tǒng)計時間截至2022年6月12日(佳能調查顯示)。
*4 模仿腦神經(jīng)結構的機器學習算法之一。
*5 單機自身的套刻精度。
*6 需要應用于KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的Plus機型。
**為方便讀者理解,本文中佳能可指代:佳能光學設備(上海)有限公司,佳能(中國)有限公司,佳能股份有限公司,佳能品牌等
參考信息:
< 什么是步進式掃描光刻機?>
“重復步進并多次掃描曝光”的裝置稱為“步進掃描光刻機”,該裝置通過控制掩模臺與工作臺的同步運動的方式實現(xiàn)曝光動作。由于步進式掃描光刻機的掃描儀可以在掃描操作中覆蓋曝光視角,因此其主要優(yōu)點是易于通過調整鏡頭的有效區(qū)域來擴大數(shù)值孔徑(NA, Numerical aperture),并在鏡頭像差較小的部分進行曝光,從而更好地抑制曝光失真,帶來高精度曝光。
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