上海工研院面向MEMS的8寸研發(fā)中試線6月底將投運
近5000平方米的潔凈室,每一塊地板的孔洞數量,為了循環(huán)洗滌都經過精準計算。其中用來曝光和顯影的“黃光區(qū)”,潔凈度更高,1分鐘內1立方英尺的空間大于0.2微米的微塵必須少于10顆。這里正是上海微技術工研院建設的國內首條專注“超越摩爾”領域,面向微機電系統(tǒng)的8寸研發(fā)中試線所在地。6月底,這條中試線將啟動試運行。
本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/201705/359595.htm到2020年,上海市將培育形成約30家研發(fā)與轉化功能型平臺,與張江綜合性國家科學中心共同組成上??苿?chuàng)中心建設的“四梁八柱”。上海微技術工業(yè)研究院(簡稱工研院)正是第一個啟動的平臺。這家新型研發(fā)機構成立4年來,走過了一條不尋常的機制體制創(chuàng)新之路。
企業(yè)化運作的研發(fā)與轉化平臺
成立于2013年5月的上海微技術工業(yè)研究院,以上海新微技術研發(fā)中心有限公司為運營實體。與一般事業(yè)編制的研發(fā)機構不同,它是一家企業(yè)化運作的研發(fā)與轉化功能型平臺,其目標是打造世界級傳感器及超越摩爾領域龍頭新型研發(fā)機構。
“活”是企業(yè)最大的特點,工研院便在“活”上做足文章。以往從實驗室研發(fā)出成果到量產,有很長的一段路要走,中試就是一個必經階段。不過,中試在很多企業(yè)看來是一樁性價比很低的“買賣”,不僅要拿出原本賺錢的設備和生產線,還有可能遭遇失敗。未來,8寸研發(fā)中試線建成后,不僅可以做研發(fā),還可以實現小規(guī)模量產,加快產品市場化。
工研院充分發(fā)揮產業(yè)平臺功能,和中科院上海微系統(tǒng)所聯合產業(yè)資本設立了同華新微基金和“超越摩爾”產業(yè)基金。其中,“超越摩爾”產業(yè)基金由工研院、國家集成電路產業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立,規(guī)模達50億元。同華新微基金由工研院和同華投資集團共同發(fā)起成立,規(guī)模達20億元。一旦有了好的項目,無需四處“化緣”,可以用產業(yè)基金直接投資,大大提高了資本運行效率。
“一輛車能跑多快,除了車的性能,更重要的是取決于開車的人。”8寸研發(fā)中試線運營副總裁游家杰說,超越摩爾是另辟蹊徑的反向突破,要實現這一目標,需把人才作為第一資源。成立之初,工研院就建立了人才引進和股權激勵機制,面向全球引進頂級人才及團隊,并給予相匹配的市場待遇,目前已形成覆蓋戰(zhàn)略規(guī)劃、研發(fā)、工程、運營和市場銷售的150人團隊,其中研發(fā)和工程人員比例高達80%。此外,以上海為中心,還在硅谷、臺灣新竹、歐洲等地成立了研發(fā)中心,打造全球人才網絡。
事前報批制改為事后考核制
為把體制創(chuàng)新再往前推一步,使得對工研院的穩(wěn)定支持常態(tài)化,2016年10月27日,上海市科委、嘉定區(qū)人民政府與工研院簽署了戰(zhàn)略合作協議,加快“超越摩爾”核心技術研發(fā)。所謂“超越摩爾”,是指不再只遵循摩爾定律,在半導體工藝尺寸上越做越小,而是在成熟的工藝生產線上,研發(fā)非數字、多元化半導體技術與產品;不再跟在少數企業(yè)后面“較勁”,而在傳感器等其他新興技術領域實現“彎道超車”。
正如“超越摩爾”這一內涵的創(chuàng)新,市科委探索先“給錢”后“考核”的評價體系,工研院因此成為上海首個將事前報批制改為事后考核制的單位——前期研發(fā)階段,政府給予穩(wěn)定支持,并每年進行考核,以加快科技成果向市場的轉化。在財政經費總量上,采用政府投入與單位績效掛鉤制度:公司運營收入高,政府投入也高,反之投入就少。同時,給予工研院在經費使用、人員聘任等方面的自主權,推動其在市場化環(huán)境中快速發(fā)展,整體帶動上海半導體產業(yè)的轉型升級。
由于傳感器的更迭換代周期較短,先“給錢”后“考核”,無疑最大程度地爭取了時間,加快了實驗室的成果向市場轉化。
提升產業(yè)鏈綜合服務能級
機制體制上的創(chuàng)新,激發(fā)了這家研發(fā)機構的內在活力。市科委主任壽子琪曾表示,未來建成的30家研發(fā)和轉化功能型平臺,是直接支撐上海經濟社會發(fā)展的基礎性平臺,要通過科技創(chuàng)新給上海帶來實惠。近年來,工研院聚焦MEMS等先進傳感器、第三代半導體材料及器件、射頻器件和電路,以及高效太陽能電池等重點方向,實現了產業(yè)核心技術的新突破,已申請國際發(fā)明專利14件、國內發(fā)明專利111件。此外,工研院另一重要創(chuàng)新平臺——硅光子集成工藝平臺,在前沿基礎研究與核心器件開發(fā)方面取得了良好進展,并將結合8寸研發(fā)中試線從整體上打通國內硅光子產業(yè)鏈,有望成為全球第三個先進的硅光子研發(fā)中試平臺。隨著產業(yè)核心關鍵技術的突破,工研院對整個產業(yè)鏈的綜合服務能級也得到快速提升,已為華為、Vivo、中芯國際等50多家知名客戶提供工程技術服務。
培育新業(yè)態(tài)和新產業(yè),增強產業(yè)引領能力,同樣是工研院作為研發(fā)與轉化功能型平臺的重要使命。工研院完成汽車雷達芯片項目的孵化,聯合同華投資管理公司共同成立了汽車雷達芯片公司,打造國內自主知識產權的汽車雷達芯片產品;為實現HIT太陽能電池的規(guī)模化生產,工研院與中科院上海微系統(tǒng)研究所、三峽資本共同成立了一家產業(yè)化公司,總投資額約為5億人民幣。
為打造國內超越摩爾產業(yè)創(chuàng)新生態(tài)環(huán)境,工研院牽頭成立了“中國傳感器與物聯網產業(yè)聯盟”,目前成員數量已達300余家。由該聯盟主辦的中國(上海)國際傳感器技術與應用展覽會已得到國際同行和國內產業(yè)圈的普遍認可,成為國際三大傳感器與物聯網交流平臺之一。
在成立之初,工研院對標的是歐洲最大的獨立微電子研究中心比利時的IMEC;近期,雙方就合資成立“IMEC中國研究院”達成基本意向,下一代智能汽車的無人駕駛、傳感融合技術,將成為第一個合作方向。
勇立潮頭者,胸中有丘壑。工研院創(chuàng)新勇氣的背后,是對科技進步大方向、產業(yè)革命大趨勢的把握。工研院的發(fā)展戰(zhàn)略,緊跟的是國家集成電路發(fā)展戰(zhàn)略,看好的是半導體新興市場,倚重的是上海成熟的半導體產業(yè)優(yōu)勢。假以時日,這家新型研發(fā)機構必將帶來更多的驚喜。
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