近5000平方米的潔凈室，每一塊地板的孔洞數量，為了循環(huán)洗滌都經過精準計算。其中用來曝光和顯影的“黃光區(qū)”，潔凈度更高，1分鐘內1立方英尺的空間大于0.2微米的微塵必須少于10顆。這里正是上海微技術工研院建設的國內首條專注“超越摩爾”領域，面向微機電系統(tǒng)的8寸研發(fā)中試線所在地。6月底，這條中試線將啟動試運行。

　　到2020年，上海市將培育形成約30家研發(fā)與轉化功能型平臺，與張江綜合性國家科學中心共同組成上?？苿?chuàng)中心建設的“四梁八柱”。上海微技術工業(yè)研究院(簡稱工研院)正是第一個啟動的平臺。這家新型研發(fā)機構成立4年來，走過了一條不尋常的機制體制創(chuàng)新之路。

　　企業(yè)化運作的研發(fā)與轉化平臺

　　成立于2013年5月的上海微技術工業(yè)研究院，以上海新微技術研發(fā)中心有限公司為運營實體。與一般事業(yè)編制的研發(fā)機構不同，它是一家企業(yè)化運作的研發(fā)與轉化功能型平臺，其目標是打造世界級傳感器及超越摩爾領域龍頭新型研發(fā)機構。

　　“活”是企業(yè)最大的特點，工研院便在“活”上做足文章。以往從實驗室研發(fā)出成果到量產，有很長的一段路要走，中試就是一個必經階段。不過，中試在很多企業(yè)看來是一樁性價比很低的“買賣”，不僅要拿出原本賺錢的設備和生產線，還有可能遭遇失敗。未來，8寸研發(fā)中試線建成后，不僅可以做研發(fā)，還可以實現小規(guī)模量產，加快產品市場化。

　　工研院充分發(fā)揮產業(yè)平臺功能，和中科院上海微系統(tǒng)所聯合產業(yè)資本設立了同華新微基金和“超越摩爾”產業(yè)基金。其中，“超越摩爾”產業(yè)基金由工研院、國家集成電路產業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立，規(guī)模達50億元。同華新微基金由工研院和同華投資集團共同發(fā)起成立，規(guī)模達20億元。一旦有了好的項目，無需四處“化緣”，可以用產業(yè)基金直接投資，大大提高了資本運行效率。

　　“一輛車能跑多快，除了車的性能，更重要的是取決于開車的人。”8寸研發(fā)中試線運營副總裁游家杰說，超越摩爾是另辟蹊徑的反向突破，要實現這一目標，需把人才作為第一資源。成立之初，工研院就建立了人才引進和股權激勵機制，面向全球引進頂級人才及團隊，并給予相匹配的市場待遇，目前已形成覆蓋戰(zhàn)略規(guī)劃、研發(fā)、工程、運營和市場銷售的150人團隊，其中研發(fā)和工程人員比例高達80%。此外，以上海為中心，還在硅谷、臺灣新竹、歐洲等地成立了研發(fā)中心，打造全球人才網絡。

　　事前報批制改為事后考核制

　　為把體制創(chuàng)新再往前推一步，使得對工研院的穩(wěn)定支持常態(tài)化，2016年10月27日，上海市科委、嘉定區(qū)人民政府與工研院簽署了戰(zhàn)略合作協議，加快“超越摩爾”核心技術研發(fā)。所謂“超越摩爾”，是指不再只遵循摩爾定律，在半導體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產線上，研發(fā)非數字、多元化半導體技術與產品;不再跟在少數企業(yè)后面“較勁”，而在傳感器等其他新興技術領域實現“彎道超車”。

　　正如“超越摩爾”這一內涵的創(chuàng)新，市科委探索先“給錢”后“考核”的評價體系，工研院因此成為上海首個將事前報批制改為事后考核制的單位——前期研發(fā)階段，政府給予穩(wěn)定支持，并每年進行考核，以加快科技成果向市場的轉化。在財政經費總量上，采用政府投入與單位績效掛鉤制度：公司運營收入高，政府投入也高，反之投入就少。同時，給予工研院在經費使用、人員聘任等方面的自主權，推動其在市場化環(huán)境中快速發(fā)展，整體帶動上海半導體產業(yè)的轉型升級。

　　由于傳感器的更迭換代周期較短，先“給錢”后“考核”，無疑最大程度地爭取了時間，加快了實驗室的成果向市場轉化。

　　提升產業(yè)鏈綜合服務能級

　　機制體制上的創(chuàng)新，激發(fā)了這家研發(fā)機構的內在活力。市科委主任壽子琪曾表示，未來建成的30家研發(fā)和轉化功能型平臺，是直接支撐上海經濟社會發(fā)展的基礎性平臺，要通過科技創(chuàng)新給上海帶來實惠。近年來，工研院聚焦MEMS等先進傳感器、第三代半導體材料及器件、射頻器件和電路，以及高效太陽能電池等重點方向，實現了產業(yè)核心技術的新突破，已申請國際發(fā)明專利14件、國內發(fā)明專利111件。此外，工研院另一重要創(chuàng)新平臺——硅光子集成工藝平臺，在前沿基礎研究與核心器件開發(fā)方面取得了良好進展，并將結合8寸研發(fā)中試線從整體上打通國內硅光子產業(yè)鏈，有望成為全球第三個先進的硅光子研發(fā)中試平臺。隨著產業(yè)核心關鍵技術的突破，工研院對整個產業(yè)鏈的綜合服務能級也得到快速提升，已為華為、Vivo、中芯國際等50多家知名客戶提供工程技術服務。

　　培育新業(yè)態(tài)和新產業(yè)，增強產業(yè)引領能力，同樣是工研院作為研發(fā)與轉化功能型平臺的重要使命。工研院完成汽車雷達芯片項目的孵化，聯合同華投資管理公司共同成立了汽車雷達芯片公司，打造國內自主知識產權的汽車雷達芯片產品;為實現HIT太陽能電池的規(guī)模化生產，工研院與中科院上海微系統(tǒng)研究所、三峽資本共同成立了一家產業(yè)化公司，總投資額約為5億人民幣。

　　為打造國內超越摩爾產業(yè)創(chuàng)新生態(tài)環(huán)境，工研院牽頭成立了“中國傳感器與物聯網產業(yè)聯盟”，目前成員數量已達300余家。由該聯盟主辦的中國(上海)國際傳感器技術與應用展覽會已得到國際同行和國內產業(yè)圈的普遍認可，成為國際三大傳感器與物聯網交流平臺之一。

　　在成立之初，工研院對標的是歐洲最大的獨立微電子研究中心比利時的IMEC;近期，雙方就合資成立“IMEC中國研究院”達成基本意向，下一代智能汽車的無人駕駛、傳感融合技術，將成為第一個合作方向。

　　勇立潮頭者，胸中有丘壑。工研院創(chuàng)新勇氣的背后，是對科技進步大方向、產業(yè)革命大趨勢的把握。工研院的發(fā)展戰(zhàn)略，緊跟的是國家集成電路發(fā)展戰(zhàn)略，看好的是半導體新興市場，倚重的是上海成熟的半導體產業(yè)優(yōu)勢。假以時日，這家新型研發(fā)機構必將帶來更多的驚喜。