芯源微宣布推出浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機新品,已通過客戶端驗證
2022年12月17日,據(jù)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商芯源微電子官方微信消息,在芯源微成立滿二十周年之際,其通過線上直播的方式,正式發(fā)布了前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機新品FT(III)300。芯源微前道設(shè)計部總監(jiān)、浸沒式機臺主設(shè)計師程虎先生詳細介紹了該款機臺的技術(shù)性能及客戶端驗證情況,公司董事長兼總裁宗潤福先生等公司領(lǐng)導(dǎo)作為交流嘉賓參與了線上互動。
芯源微前道設(shè)計部總監(jiān)程虎表示:“作為芯源微自主開發(fā)的第三代機型,浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機具有高產(chǎn)能、高工藝能力、高潔凈度、高擴展性和易維護性等優(yōu)勢。目前,該款機型已通過客戶端驗證,達到客戶量產(chǎn)要求,成功打破國外壟斷,填補國內(nèi)空白。”
據(jù)介紹,F(xiàn)T(III)300采用獨創(chuàng)的對稱分布高產(chǎn)能架構(gòu),滿配36 Spin處理單元,搭載公司自主研發(fā)的雙向同步取放機械手,可大幅提升整機的機械傳送產(chǎn)能和傳送精度,能夠匹配全球主流光刻機聯(lián)機生產(chǎn),可在復(fù)雜工藝下實現(xiàn)300片以上產(chǎn)能。此外,機臺還搭載了公司開發(fā)的精確溫度調(diào)制(PTM)技術(shù),使熱盤烘烤溫度均勻性達到業(yè)界領(lǐng)先水平;全新的Spin單元實時控制技術(shù),可有效提升機臺運動控制及流體控制精度、響應(yīng)性及穩(wěn)定性,持續(xù)為客戶降低成本;通過仿真優(yōu)化設(shè)計整機流場,確保內(nèi)部微環(huán)境均勻穩(wěn)定,提升整機的潔凈度等級;全系列輔助功能單元,包含AOI、WEE系統(tǒng)等,可在線式檢測晶圓工藝缺陷,減少不良品流出。
該款機型通過選配可全面覆蓋KrF、ArF dry、ArF浸沒式等多種光刻技術(shù),也適用包括SOC、SOH、SOD等在內(nèi)的其他旋涂類應(yīng)用。為應(yīng)對未來光刻機產(chǎn)能的不斷提升,該機型還可擴充至更多處理單元,由目前的36 Spin擴展為48 Spin,產(chǎn)能提升到每小時360片,同時實現(xiàn)在低占地面積下兼顧機臺易維護性,有效提升機臺維護效率。
芯原微表示,成立二十年來,公司始終聚焦于涂膠顯影技術(shù)領(lǐng)域,可謂二十年磨一劍。本次前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機的成功推出,將進一步豐富公司的產(chǎn)品結(jié)構(gòu),實現(xiàn)公司在前道晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點的全覆蓋,并可持續(xù)向更高工藝等級迭代,鞏固和提升公司在行業(yè)內(nèi)的技術(shù)競爭優(yōu)勢。
芯源微董事長兼總裁宗潤福先生表示:“這是公司發(fā)展的又一重要里程碑,我們很高興地看到,國內(nèi)越來越多的客戶已經(jīng)在加速對國產(chǎn)高端涂膠顯影設(shè)備的導(dǎo)入進程,未來芯源微將繼續(xù)致力于產(chǎn)品創(chuàng)新和技術(shù)提升,為客戶提供更好的綜合技術(shù)解決及服務(wù)方案,為客戶創(chuàng)造價值,成為受社會尊重的世界級企業(yè)”。
*博客內(nèi)容為網(wǎng)友個人發(fā)布,僅代表博主個人觀點,如有侵權(quán)請聯(lián)系工作人員刪除。