2022年12月17日，據(jù)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商芯源微電子官方微信消息，在芯源微成立滿二十周年之際，其通過線上直播的方式，正式發(fā)布了前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機新品FT（III）300。芯源微前道設(shè)計部總監(jiān)、浸沒式機臺主設(shè)計師程虎先生詳細介紹了該款機臺的技術(shù)性能及客戶端驗證情況，公司董事長兼總裁宗潤福先生等公司領(lǐng)導(dǎo)作為交流嘉賓參與了線上互動。

芯源微前道設(shè)計部總監(jiān)程虎表示：“作為芯源微自主開發(fā)的第三代機型，浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機具有高產(chǎn)能、高工藝能力、高潔凈度、高擴展性和易維護性等優(yōu)勢。目前，該款機型已通過客戶端驗證，達到客戶量產(chǎn)要求，成功打破國外壟斷，填補國內(nèi)空白。”

據(jù)介紹，F(xiàn)T（III）300采用獨創(chuàng)的對稱分布高產(chǎn)能架構(gòu)，滿配36 Spin處理單元，搭載公司自主研發(fā)的雙向同步取放機械手，可大幅提升整機的機械傳送產(chǎn)能和傳送精度，能夠匹配全球主流光刻機聯(lián)機生產(chǎn)，可在復(fù)雜工藝下實現(xiàn)300片以上產(chǎn)能。此外，機臺還搭載了公司開發(fā)的精確溫度調(diào)制（PTM）技術(shù)，使熱盤烘烤溫度均勻性達到業(yè)界領(lǐng)先水平；全新的Spin單元實時控制技術(shù)，可有效提升機臺運動控制及流體控制精度、響應(yīng)性及穩(wěn)定性，持續(xù)為客戶降低成本；通過仿真優(yōu)化設(shè)計整機流場，確保內(nèi)部微環(huán)境均勻穩(wěn)定，提升整機的潔凈度等級；全系列輔助功能單元，包含AOI、WEE系統(tǒng)等，可在線式檢測晶圓工藝缺陷，減少不良品流出。

該款機型通過選配可全面覆蓋KrF、ArF dry、ArF浸沒式等多種光刻技術(shù)，也適用包括SOC、SOH、SOD等在內(nèi)的其他旋涂類應(yīng)用。為應(yīng)對未來光刻機產(chǎn)能的不斷提升，該機型還可擴充至更多處理單元，由目前的36 Spin擴展為48 Spin，產(chǎn)能提升到每小時360片，同時實現(xiàn)在低占地面積下兼顧機臺易維護性，有效提升機臺維護效率。

芯原微表示，成立二十年來，公司始終聚焦于涂膠顯影技術(shù)領(lǐng)域，可謂二十年磨一劍。本次前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機的成功推出，將進一步豐富公司的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)公司在前道晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點的全覆蓋，并可持續(xù)向更高工藝等級迭代，鞏固和提升公司在行業(yè)內(nèi)的技術(shù)競爭優(yōu)勢。

芯源微董事長兼總裁宗潤福先生表示：“這是公司發(fā)展的又一重要里程碑，我們很高興地看到，國內(nèi)越來越多的客戶已經(jīng)在加速對國產(chǎn)高端涂膠顯影設(shè)備的導(dǎo)入進程，未來芯源微將繼續(xù)致力于產(chǎn)品創(chuàng)新和技術(shù)提升，為客戶提供更好的綜合技術(shù)解決及服務(wù)方案，為客戶創(chuàng)造價值，成為受社會尊重的世界級企業(yè)”。