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在臺積電奮力沖刺5nm量產(chǎn)之時,三星緣何突然松了油門?

  • 明年將是5nm制程的大年,在臺積電的5nm良率爬升再破記錄,并且擴產(chǎn)也進入了實質(zhì)性階段之時,三星卻將他們的EUV光刻機資源幾乎都分給了存儲芯片的制造,讓人不禁疑惑,三星這是打算減緩5nm規(guī)模量產(chǎn)的步伐了?高歌猛進的臺積電臺積電在前陣舉辦的第26屆線上技術研討會上,除了7nm的增產(chǎn)計劃,以及3nm的投產(chǎn)計劃外,特別提到了他們5nm 缺陷密度提升數(shù)據(jù),其提升趨勢已經(jīng)超過了7nm時的同期水準。缺陷密度:D0=缺陷密度(Defect Density)指的是:晶圓表面每平方厘米(cm2)上的缺陷個數(shù)。這是芯片制造中
  • 關鍵字: 臺積電  5nm量  三星  
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5nm量介紹

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