Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統(tǒng)用于MEMS制造
全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備供應(yīng)商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統(tǒng)。Bosch是全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商,特別專注于汽車傳感和消費(fèi)電子市場。
本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/92240.htmEEPW首頁 > 工控自動(dòng)化 > 業(yè)界動(dòng)態(tài) > Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統(tǒng)用于MEMS制造
全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備供應(yīng)商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統(tǒng)。Bosch是全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商,特別專注于汽車傳感和消費(fèi)電子市場。
本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/92240.htm
評(píng)論