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Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統(tǒng)用于MEMS制造

作者: 時(shí)間:2009-03-10 來源:SEMI 收藏

        全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備供應(yīng)商Lam Research近日宣布Robert GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統(tǒng)。是全球領(lǐng)先的MEMS制造商,特別專注于汽車傳感和消費(fèi)電子市場。

本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/92240.htm


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