國務(wù)院正式批準的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》中指出了要突出“芯片設(shè)計—制造—封測—裝備材料”全產(chǎn)業(yè)鏈布局。中國已經(jīng)是全球集成電路市場大國，但集成電路大量依賴進口。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去。

　　在國家科技重大專項的支持下，一些大規(guī)模集成電路關(guān)鍵裝備通過驗收并走進了大生產(chǎn)線。極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝科技項目(簡稱02專項)2008~2013年共安排集成電路裝備研制項目29項，包括45納米單片清洗設(shè)備、快速退火爐、關(guān)鍵封測設(shè)備、高密度等離子刻蝕系統(tǒng)、45~28納米去耦合反應(yīng)等離子體刻蝕機、先進封裝投影光刻機、65~45納米介質(zhì)刻蝕機、65~45納米PVD設(shè)備、65納米集成電路離子注入機、65納米銅互連清洗及化學(xué)處理設(shè)備、集成電路先進封裝用勻膠機、全自動引線銀鍵合機等12個項目，到2013年年底已通過驗收，這些裝備也走進了12英寸極大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)線。

　　國產(chǎn)集成電路先進封裝生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進展迅速。國產(chǎn)集成電路先進封裝生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備得到了集成電路生產(chǎn)廠商的信任和認可，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。其中有集成電路先進封裝用勻膠機、3微米步進式投影光刻機、用于三維芯片封裝的硅通孔刻蝕機、高密度深硅等離子刻蝕機、TSV硅通孔物理氣相沉積設(shè)備(PVD)等，這些關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化有力地推進了我國集成電路先進封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　國產(chǎn)集成電路硅片生產(chǎn)設(shè)備尚未進入產(chǎn)業(yè)化。在02專項的支持下，12英寸集成電路硅片生產(chǎn)設(shè)備(硅單晶生長爐、多線切割機、磨片機、拋光機)的γ機目前已通過工藝認證，但尚未進入大生產(chǎn)線。

　　市場占有率低。目前，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線裝備大都依賴進口，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線(8~12英寸)中的硅片和晶圓(芯片)制造裝備大都依賴進口(8英寸以下的生產(chǎn)線是引進翻新的二手設(shè)備)，這不僅嚴重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也對我國的信息安全造成重大的隱患。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會對我國13家主要集成電路生產(chǎn)單位的統(tǒng)計，2013年共銷售集成電路設(shè)備1093臺，銷售金額10.34億元(其中芯片制造設(shè)備約7億元)，大約是當(dāng)年我國半導(dǎo)體設(shè)備進口額的5%左右。

　　產(chǎn)業(yè)化進程緩慢。“十二五”期間，盡管在國家重大專項的支持下，一些關(guān)鍵設(shè)備進入了大生產(chǎn)線，并經(jīng)過了驗收，但在新建的生產(chǎn)線上，使用單位有較大的風(fēng)險，在與進口設(shè)備的競爭中，國產(chǎn)設(shè)備很難擠得上去。特別是對大規(guī)模集成電路芯片制造設(shè)備國產(chǎn)化缺乏信心，使已經(jīng)在生產(chǎn)線上驗收的國產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進程艱難。目前，一些設(shè)備制造單位，已經(jīng)將集成電路設(shè)備成果應(yīng)用到風(fēng)險相對低的LED等其它半導(dǎo)體器件領(lǐng)域。

　　缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才。一些技術(shù)難度大的關(guān)鍵設(shè)備，由于缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才，久攻不下，同時也影響了集成電路生產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化的推廣。

　　IC裝備制造業(yè)發(fā)展設(shè)想

　　第一，對國家投資的集成電路建設(shè)工程項目，要提出集成電路生產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化的要求，推廣已經(jīng)在集成電路大生產(chǎn)線上驗收過的國產(chǎn)設(shè)備。

　　第二，依托國家科技專項集成電路關(guān)鍵裝備科技項目，對承擔(dān)項目的單位，設(shè)備產(chǎn)業(yè)化目標要提出更高的要求，進一步推進集成電路產(chǎn)業(yè)化的進程。

　　第三，鼓勵和支持積極使用國產(chǎn)集成電路設(shè)備的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，對使用首臺(套)集成電路關(guān)鍵設(shè)備給予優(yōu)惠政策，以減少承擔(dān)的風(fēng)險。

　　第四，建設(shè)國產(chǎn)化集成電路示范生產(chǎn)線，推進我國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)做強。沒有國產(chǎn)的集成電路生產(chǎn)線，僅依賴進口集成電路設(shè)備的集成電路產(chǎn)業(yè)是不可能做強的，只能跟在人家后面跑，并且還要受制于人，所以建設(shè)國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線是當(dāng)務(wù)之急。從目前的市場需要和我國集成電路設(shè)備發(fā)展情況來看，建議在二到三年內(nèi)建設(shè)以下三條集成電路國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線：12英寸集成電路硅片生產(chǎn)線;集成電路先進封裝生產(chǎn)線;8英寸90nm集成電路晶圓(芯片)生產(chǎn)線。