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我國IC裝備制造業(yè)的四個設(shè)想

作者: 時間:2014-08-05 來源:中研網(wǎng) 收藏

  國務(wù)院正式批準的《國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》中指出了要突出“芯片設(shè)計—制造—封測—裝備材料”全產(chǎn)業(yè)鏈布局。中國已經(jīng)是全球市場大國,但大量依賴進口。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強,就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去。

本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/256472.htm

  在國家科技重大專項的支持下,一些大規(guī)模集成電路關(guān)鍵裝備通過驗收并走進了大生產(chǎn)線。極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝科技項目(簡稱02專項)2008~2013年共安排集成電路裝備研制項目29項,包括45納米單片清洗設(shè)備、快速退火爐、關(guān)鍵封測設(shè)備、高密度等離子刻蝕系統(tǒng)、45~28納米去耦合反應(yīng)等離子體刻蝕機、先進封裝投影光刻機、65~45納米介質(zhì)刻蝕機、65~45納米PVD設(shè)備、65納米集成電路離子注入機、65納米銅互連清洗及化學(xué)處理設(shè)備、集成電路先進封裝用勻膠機、全自動引線銀鍵合機等12個項目,到2013年年底已通過驗收,這些裝備也走進了12英寸極大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)線。

  國產(chǎn)集成電路先進封裝生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進展迅速。國產(chǎn)集成電路先進封裝生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備得到了集成電路生產(chǎn)廠商的信任和認可,實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。其中有集成電路先進封裝用勻膠機、3微米步進式投影光刻機、用于三維芯片封裝的硅通孔刻蝕機、高密度深硅等離子刻蝕機、TSV硅通孔物理氣相沉積設(shè)備(PVD)等,這些關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化有力地推進了我國集成電路先進封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

  國產(chǎn)集成電路硅片生產(chǎn)設(shè)備尚未進入產(chǎn)業(yè)化。在02專項的支持下,12英寸集成電路硅片生產(chǎn)設(shè)備(硅單晶生長爐、多線切割機、磨片機、拋光機)的γ機目前已通過工藝認證,但尚未進入大生產(chǎn)線。

  市場占有率低。目前,我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線裝備大都依賴進口,我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線(8~12英寸)中的硅片和晶圓(芯片)制造裝備大都依賴進口(8英寸以下的生產(chǎn)線是引進翻新的二手設(shè)備),這不僅嚴重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,也對我國的信息安全造成重大的隱患。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會對我國13家主要集成電路生產(chǎn)單位的統(tǒng)計,2013年共銷售集成電路設(shè)備1093臺,銷售金額10.34億元(其中芯片制造設(shè)備約7億元),大約是當(dāng)年我國半導(dǎo)體設(shè)備進口額的5%左右。

  產(chǎn)業(yè)化進程緩慢。“十二五”期間,盡管在國家重大專項的支持下,一些關(guān)鍵設(shè)備進入了大生產(chǎn)線,并經(jīng)過了驗收,但在新建的生產(chǎn)線上,使用單位有較大的風(fēng)險,在與進口設(shè)備的競爭中,國產(chǎn)設(shè)備很難擠得上去。特別是對大規(guī)模集成電路芯片制造設(shè)備國產(chǎn)化缺乏信心,使已經(jīng)在生產(chǎn)線上驗收的國產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進程艱難。目前,一些設(shè)備制造單位,已經(jīng)將集成電路設(shè)備成果應(yīng)用到風(fēng)險相對低的LED等其它半導(dǎo)體器件領(lǐng)域。

  缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才。一些技術(shù)難度大的關(guān)鍵設(shè)備,由于缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才,久攻不下,同時也影響了集成電路生產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化的推廣。

  IC裝備制造業(yè)發(fā)展設(shè)想

  第一,對國家投資的集成電路建設(shè)工程項目,要提出集成電路生產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化的要求,推廣已經(jīng)在集成電路大生產(chǎn)線上驗收過的國產(chǎn)設(shè)備。

  第二,依托國家科技專項集成電路關(guān)鍵裝備科技項目,對承擔(dān)項目的單位,設(shè)備產(chǎn)業(yè)化目標要提出更高的要求,進一步推進集成電路產(chǎn)業(yè)化的進程。

  第三,鼓勵和支持積極使用國產(chǎn)集成電路設(shè)備的集成電路生產(chǎn)企業(yè),對使用首臺(套)集成電路關(guān)鍵設(shè)備給予優(yōu)惠政策,以減少承擔(dān)的風(fēng)險。

  第四,建設(shè)國產(chǎn)化集成電路示范生產(chǎn)線,推進我國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)做強。沒有國產(chǎn)的集成電路生產(chǎn)線,僅依賴進口集成電路設(shè)備的集成電路產(chǎn)業(yè)是不可能做強的,只能跟在人家后面跑,并且還要受制于人,所以建設(shè)國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線是當(dāng)務(wù)之急。從目前的市場需要和我國集成電路設(shè)備發(fā)展情況來看,建議在二到三年內(nèi)建設(shè)以下三條集成電路國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線:12英寸集成電路硅片生產(chǎn)線;集成電路先進封裝生產(chǎn)線;8英寸90nm集成電路晶圓(芯片)生產(chǎn)線。

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