一種新型MEMS微波功率傳感器的設(shè)計與模擬
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2．2 S參數(shù)模擬
本文中的傳感器是利用共面波導(dǎo)作為待測微波信號的傳輸線將其引入到測量系統(tǒng)中，其特性阻抗為50 Q。為了將微波信號轉(zhuǎn)化為熱量，在CPW 的末端配以四個純阻性負載電阻，每個電阻的阻值均為200 Q。對于微波信號而言，四個200 Q的是并聯(lián)的，因而形成50 Q的負載，與CPW 的特性阻抗相等，從而達到阻抗匹配的效果。
使用高頻模擬軟件HFSS模擬了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)和三明治結(jié)構(gòu)的回波損耗S 模擬中使用的傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)與上面相同，模擬結(jié)果如圖5所示。
圖5(b) 使用H上t 模擬的S11
(A 曲線為三明治結(jié)構(gòu)；B曲線為傳統(tǒng)結(jié)構(gòu))
從圖5(b)可以看出，三明治結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的回波損耗基本一致，在1～6 GHz的頻率范圍內(nèi)，三明治結(jié)構(gòu)的S 小于一30 dB，在6～2O GHz的頻率范圍內(nèi)，S 小于一20 dB，保持了較小的損耗，顯示了良好的匹配特性。
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