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ITO表面處理方法

作者: 時(shí)間:2012-03-13 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
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王水/氧等離子體

27.7

4.6

6.0

氧等離子體/王水

>30.0

4.7

1.8

HCL

26.3

4.54

1.3

4 結(jié)束語

通過上面的對(duì)比發(fā)現(xiàn),使用機(jī)械拋光法能得到最光滑的表面,氧等離子體處理能得到功函數(shù)最高的表面,UV臭氧處理的表面電阻率最低。只有通過結(jié)合使用多種方法才能得到最佳性能的ITO表面。

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