我們常常聽到一句話“科技改變生活”，在智能化數字化的今天，形形色色的硬件設備無時無刻不在改變著我們的生活。而在生活中常見的運動手表、汽車傳感器、災害預警系統(tǒng)內，MEMS傳感器是必不可少的器件之一。

　　那么到底什么是MEMS？MEMS即微機電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技半導體裝置。微機電系統(tǒng)的內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。8月29日，在ADI的MEMS新品媒體會上，ADI亞太區(qū)微機電產品線總監(jiān)趙延輝先生分享了ADI在MEMS產品上的創(chuàng)新之處。

　　據介紹，ADI的MEMS可以做五大類運動傳感，而這些運動傳感都與我們日常生活、行業(yè)社會的發(fā)展息息相關。ADI亞太區(qū)微機電產品線總監(jiān)趙延輝表示：“MEMS傳感器可以測量加速度（Acceleration）、轉動（Rotation）、沖擊（Shock）、傾角（Tilt）、振動（Vibration）等多種信號。”這五類運動傳感囊括了我們日常生活中絕大部分的行為感知，但是隨著應用場景越來越苛刻，對MEMS產品的要求也越來越高。

　　超低功耗MEMS的應用場景有很多種，消費類、醫(yī)療急救、植入式醫(yī)療、工業(yè)生產以及汽車上都會有MEMS的身影。而MEMS元件上的微小功耗和噪聲技術突破，都可以為整個終端產品帶來巨大影響。例如在除顫器、心臟起搏器等急救醫(yī)療設備上，更低的功耗元件能夠保障這些設備在公共場所更長時間的使用，為需要被急救的人帶來更多生的希望；在災害預警設備中，更低的噪聲將會提高MEMS的精確度，帶來更精準更快速的災害預警，更大程度上避免人員和財產損失。由此不難看出，超低功耗的MEMS在現代生活中的重要性。

超低功耗體驗的ADXL367

　　ADI在追尋先進科技術的路上始終在超越自我。2012年ADI發(fā)布了一款超低噪聲加速計產品——ADXL362，至今仍具有市場競爭力，但ADI沒有滿足于此。趙延輝向我們介紹，新產品ADXL367顛覆了傳統(tǒng)產品的指標結構，在前代的基礎上性能更上一層樓。

　　與前代產品相比，ADXL367的面積縮小了47%，高度減少了20%，整體大小在2.2×2.3mm左右，數字分辨率也從12位提高到14位，工作電流更是擴展到最小0.88μA，同時還能切換休眠模式和喚醒模式。而這些還遠不夠驚艷我們，趙延輝在介紹ADXL367時表示：“ADXL367在噪聲密度上也進行了非常大的改觀，尤其是在超低功耗的模式下，目前ADXL367在X、Y、Z三個軸都做到了375μg/√Hz的水平。”那么低噪聲帶來哪些好處？舉個例子，在類似心臟、呼吸等條件檢測應用中，傳感器憑借其超低噪聲的模式可以捕捉到非常微小的變化。而且還能極大地降低儀器對工作環(huán)境、位置的要求，以及簡化了使用者的應用成本。

服務新興市場的ADXL314

　　媒體會上，趙延輝向我們介紹了ADI推出的新款車規(guī)級低功耗低噪聲大量程的三軸加速度計——ADXL314，以適應更多新興應用，例如能夠用于汽車胎壓監(jiān)測、電動車電池檢測以及碰撞檢測、EDR等場景。與傳統(tǒng)的胎壓監(jiān)測不同，ADXL314不僅具有壓力傳感還配備了加速度計作為啟動開關來觸發(fā)胎壓監(jiān)測。比如車一啟動，這時會有一些加速度的變化，然后再啟動胎壓監(jiān)測。另外一些胎壓監(jiān)測則需要配合車的運行速度來進行判斷。

　　在新能源車十分火熱的同時，消費者也在關心著車內電池包的安全問題，屢見不鮮的電池泄露、燃燒等問題成為行業(yè)痛點。例如，電池在發(fā)生嚴重事故時會出現冒煙情況，通常會涉及到兩大類技術，一類是碰撞監(jiān)測，一類是煙感檢測。ADXL314解決的是碰撞檢測的問題，它可以根據不同等級的加速度來告訴電源管理系統(tǒng)采取何種保護措施。而這是電源行業(yè)和新能源車行業(yè)未來發(fā)展的趨勢之一。

高性價比的ADXL359

　　據趙延輝介紹，ADI在2017年曾發(fā)布過一系列低噪聲產品，包括ADXL356和ADXL357，在農業(yè)自動化、無人機領域以及振動領域里都有非常好的市場反饋，但為了滿足客戶對CBM和IMU的需求，ADI推出了這款ADXL359。

　　ADXL359的優(yōu)勢在于3軸中等量程以及出色的穩(wěn)定性，振動整流誤差非常小。比如農業(yè)拖拉機或者AGV經過減速帶發(fā)生振動的同時，ADXL359依舊能捕捉姿態(tài)或位置，提供優(yōu)異的振動整流誤差值。并且ADXL359在3軸方向上均具有低噪聲特性，還附帶了高通濾波器。

　　在MEMS領域，ADI是資深玩家，技術革新上具有前瞻性。這次ADI推出三款新品不僅僅是處于市場行業(yè)的需求，更引領了MEMS領域的技術發(fā)展方向。正如趙延輝向我們分享關于ADI在MEMS領域的創(chuàng)新故事：“世界范圍內，在采用了ADI sensor安全氣囊的汽車中，正由于安全氣囊的彈出而解救人命。曾經有一個統(tǒng)計數據顯示，因采用ADI的安全氣囊sensor，全球每天都會有8個人被獲救?！皩τ诳萍计髽I(yè)，技術突破固然是產品迭代的動力，落實到以人為本，改變人類生活則更是一種科技精神。