應用材料公司今天宣布其下一代電子束檢測系統(tǒng)已在多家領先的晶圓代工廠，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠得到廣泛應用。隨著客戶逐漸轉向更先進的技術節(jié)點，這款新一代電子束檢測系統(tǒng)能夠為其提供最高的分辨率和圖像質量，同時保持最快的檢測速度。

　　應用材料公司新的 PROVision™系統(tǒng)是目前業(yè)界最先進的電子束檢測工具，結合了應用材料公司在電子束復查和測量領域長達20多年的領先經驗和最新創(chuàng)新成果。作為唯一的電子束熱點檢測工具，該系統(tǒng)提供精確到1納米的分辨率，使客戶能夠準確檢測出其他技術無法識別的“致命”缺陷，同時監(jiān)測工藝窗口邊緣情況，從而迅速解決進入產量的問題，顯著提高良率。

　　“PROVision系統(tǒng)是我們先進電子束檢測技術產品目錄中的又一新產品，同時也是應用材料公司發(fā)展戰(zhàn)略中的一個重要組成部分。”應用材料公司副總裁兼成像和工藝測控部門總經理Bob Perlmutter表示：“我們與眾不同的電子束技術在行業(yè)中處于領先地位，通過結合客戶的最新檢測方法，使PROVision系統(tǒng)不僅可以應用于研發(fā)階段，而且還可以使用于實際生產環(huán)境中。”

　　目前，PROVision系統(tǒng)已獲得良好的市場反響，已發(fā)貨十余臺，其中包括來自一家領先的代工廠商和一家主要的存儲器制造商的重復訂單。2016年下半年預計還將有多臺設備銷售給現(xiàn)有客戶和新客戶。

　　“PROVision 系統(tǒng)結合了高分辨率和大規(guī)模采樣的優(yōu)勢，有助于縮短解決問題的時間和更先進技術節(jié)點的產品上市時間。”SK hynix 集團研發(fā)部EBI小組的負責人Oh-Jang Kwon博士表示。

　　與現(xiàn)有的電子束熱點檢測工具相比，PROVision系統(tǒng)可使檢測速度提高3倍，確保在整個產品生產周期中對影響性能和良率的缺陷進行準確的表征、預判和識別，從而進一步充實了應用材料公司現(xiàn)有的電子束復查、量測產品線和光學的帶圖型的晶片檢測產品線。