国产肉体XXXX裸体137大胆,国产成人久久精品流白浆,国产乱子伦视频在线观看,无码中文字幕免费一区二区三区 国产成人手机在线-午夜国产精品无套-swag国产精品-国产毛片久久国产

新聞中心

EEPW首頁(yè) > 光電顯示 > 設(shè)計(jì)應(yīng)用 > 波導(dǎo)SOl刻蝕工藝特點(diǎn)

波導(dǎo)SOl刻蝕工藝特點(diǎn)

作者: 時(shí)間:2012-09-06 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

刻蝕即通過物理或化學(xué)的方法去除非光刻膠或硬掩膜覆蓋區(qū)域的材料。通常有兩種方法,分別為干法刻蝕和濕法刻蝕,它們各有優(yōu)缺點(diǎn)。但對(duì)于靈活性、刻蝕精確度和可重復(fù)性等方面來說,干法刻蝕居主導(dǎo)地位。

本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/167564.htm

對(duì)于(尤其是矩形單模)或者光子晶體的制作來說,由于其尺寸極小(波長(zhǎng)量級(jí)),在波導(dǎo)壁也具有較多光場(chǎng)分布,這時(shí)刻蝕對(duì)波導(dǎo)傳輸損耗的影響就相當(dāng)大了,所以這種小尺寸波導(dǎo)的刻蝕需要嚴(yán)格控制其側(cè)壁粗糙度,使其盡量光滑,以使其光損耗盡量減小。減小波導(dǎo)側(cè)壁粗糙度的具體方法可參考波導(dǎo)損耗一節(jié)。

濕法刻蝕雖然能保證波導(dǎo)側(cè)壁比較光滑,但其條寬控制較難,尤其是在波長(zhǎng)量級(jí)的尺寸上。所以這種方法很少采用。

另外,刻蝕工藝對(duì)波導(dǎo)寬度的影響也很重要,理由同光刻。



關(guān)鍵詞: 特點(diǎn) 工藝 SOl 波導(dǎo)

評(píng)論


相關(guān)推薦

技術(shù)專區(qū)

關(guān)閉