TFT-LCD制造技術(shù)與工藝
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時(shí)間：2011-09-15
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薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)通常采用兩個(gè)加工過(guò)程并行進(jìn)行加工成成品，如圖1所示。其基本工藝如下：
本文引用地址：http://m.ptau.cn/article/166052.htm
● 通過(guò)前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過(guò)程形成精確排列的彩色濾光層。
● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶(TFT)陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個(gè)像素一般對(duì)應(yīng)三個(gè)薄膜晶體管液晶(TFT)，每個(gè)像素控制一個(gè)共同構(gòu)成一個(gè)像素的“色點(diǎn)”。薄膜形成工藝采用與半導(dǎo)體制造技術(shù)相類(lèi)似的CVD、Etch及PVD等工藝技術(shù)。此類(lèi)工藝步驟應(yīng)反復(fù)數(shù)次，連續(xù)膜層方可形成一個(gè)功能元件(圖2)。
● 兩塊基板合二為一，中間注入液晶材料。
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