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壓力傳感器芯片SCA2095原理及MEMS硅壓阻式構(gòu)造介紹

作者: 時(shí)間:2012-07-10 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

上下二層是玻璃體,中間是硅片,其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔,使之成為一個典型的絕壓。為了便于TPMS接收器的識別,每個都具有32位獨(dú)特的ID碼,它可產(chǎn)生4億個不重復(fù)的號碼。

制作工藝流程

壓力傳感器制作工藝流程如下圖所示:

圖3 工藝流程示意圖
圖3 工藝流程示意圖

壓力傳感器由具有壓阻效應(yīng)的敏感元件構(gòu)成測量電橋,當(dāng)受外界壓力作用時(shí),電橋失去平衡,產(chǎn)生輸出電壓。

總結(jié)

本文簡單了壓力傳感器的分類、制作工藝流程等知識,并以壓力傳感器芯片為例分析了其,同時(shí)就對于硅壓阻式壓力傳感器芯片結(jié)構(gòu)的知識也做了相應(yīng)的概括。

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