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高可靠固態(tài)射頻電源設(shè)計與實現(xiàn)

本文針對等離子消毒系統(tǒng)所用傳統(tǒng)射頻電源工作效率低、穩(wěn)定性及可靠性差等關(guān)鍵技術(shù)問題，采用固態(tài)射頻大功率場效應(yīng)管設(shè)計射頻電源。該射頻電源工作頻率為13.56 MHz，實測輸出功率大于500 W，電源轉(zhuǎn)換效率大于70%。通過與等離子消毒柜用戶緊密合作，所設(shè)計的固態(tài)射頻電源達到了良好的預(yù)期效果。
關(guān)鍵字：射頻電源高可靠高效率 202102

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