芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化項目開工

• 4月25日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導體設備光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目開工儀式在廣州舉行。據(jù)官網(wǎng)介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，專業(yè)從事半導體生產(chǎn)設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務，致力于提供半導體裝備與工藝整體解決方案。芯源微所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品，已形成完整的技術體系和豐富的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產(chǎn)
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