應用材料公司在線電子束檢視系統(tǒng)加速顯示產品開發(fā)

• 作者/ 金旺 電子產品世界編輯　　應用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能顯著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產品推向市場?！　‰S著半導體制程進入次微米，上世紀90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學檢視，如今半導體工藝制程的在線SEM檢視率為90%。目前的顯示行業(yè)， 我們仍依賴傳統(tǒng)離線SEM，而離線SEM檢視技術現(xiàn)在仍面臨以下不足：　　1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過程
• 關鍵字： 應用材料  北京2016國際顯示高峰論壇  EBR  201612