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Immersion機臺缺貨 臺DRAM廠改采購舊機種應(yīng)急

  •   全球半導體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后,浸潤式曝光機臺(Immersion Scanner)出現(xiàn)大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機種上,交期幾乎拉到快12個月,使得2010年才下訂單的臺系DRAM廠苦等多時;存儲器業(yè)者透露,爾必達(Elpida)陣營開始轉(zhuǎn)向采購舊機種XT:1950i應(yīng)急。然美光(Micron)陣營則認為,舊機種頂多用到40奈米制程就是極限,不像新機種NXT:1950i可以一路做到30奈米。   半導體產(chǎn)業(yè)在進入50奈米以下制程,都必須開始用Immersion Scanner,此機
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