沈陽富創(chuàng)承擔的“基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發(fā)”項目，已得到國家“十二五”02重大專項支持。“這一技術突破，使我們在半導體裝備，包括極大規(guī)模集成電路裝備的零部件加工能力達到國際領先水平。該技術還可拓展到航空、航天、航海等領域?！逼髽I(yè)相關負責人介紹。同時，中科儀、沈陽新松也獲得千萬元以上國家重大專項資金支持。

　　沈陽市科技局相關負責人介紹，沈陽將大力推進機器人、IC裝備等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，把沈陽打造成以機器人為核心的高端裝備制造產(chǎn)業(yè)基地。

　　為推動機器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展，沈陽將突出龍頭企業(yè)的研發(fā)活動，并以中科院沈陽自動化所為依托，設立新型研發(fā)實體，圍繞機器人產(chǎn)業(yè)鏈開展研發(fā)、中試相關工作，并鼓勵一批高新技術人才創(chuàng)業(yè)。

　　今年，沈陽新松開展了智能型工業(yè)機器人應用研究，將力控制技術和視覺技術在機器人平臺上進行集成應用，開發(fā)了研磨拋光工業(yè)機器人，主要應用于衛(wèi)浴五金行業(yè);視覺分揀機器人，可廣泛應用于食品等行業(yè);精密裝配機器人，可應用于家電電子等行業(yè)。“在IC裝備機器人方面，我們也進行了集成傳輸平臺的研制?！毙滤上嚓P負責人說。

　　IC裝備產(chǎn)業(yè)方面，沈陽將在繼續(xù)推動承擔國家重大專項的同時，研究如何通過風險投資、股權激勵等政策措施，鼓勵企業(yè)發(fā)展壯大。

　　在IC裝備產(chǎn)業(yè)方面，沈陽是中國具有較高影響力、較強產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢的城市之一。僅今年上半年，沈陽IC裝備企業(yè)就實現(xiàn)產(chǎn)值12億元，同比增長11.6%，實現(xiàn)營業(yè)收入8.7億元，同比增長11.5%，實現(xiàn)利潤8500萬元，上繳稅金1600萬元。

　　沈陽荊拓公司最新研發(fā)的12英寸高產(chǎn)能生產(chǎn)型PECVD設備，不僅與華進、蘇州晶方等半導體公司簽訂設備采購合同，而且成功進入臺灣市場，企業(yè)申請專利69項，已獲得授權38項。沈陽芯源公司“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目，截至目前已實現(xiàn)銷售43臺，銷售額達5840萬元，產(chǎn)品出口達650萬美元，并向LED等領域輻射，銷售額達1.08億元。沈陽市科技局將組織實施機器人產(chǎn)業(yè)重大科技專項和技術成果轉化工程，開展機器人產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新服務體系建設。設立“機器人與智能制造創(chuàng)新研究院”，實現(xiàn)科研與產(chǎn)業(yè)有效銜接。