1.你們在MEMS制造設備方面有哪些最新的技術或產品進展？

在Memsstar，我們的技術重心是應用于剝離的干蝕刻和表面涂層，這是制造MEMS器件的最后一步。蝕刻用于剝離MEMS器件的運轉部件，涂層用于保護器件。

我們與研究伙伴合作開發(fā)工藝，專注于性能和能力，然后將這些工藝集成到系統中，從而實現將實驗室成果運用到實際生產。例如，我們與德國的Fraunhofer（弗勞恩霍夫）研究所合作開發(fā)使用非晶硅（a-Si）作為MEMS器件構造的犧牲層。

當然，我們正致力于不斷開發(fā)我們現有的產品，以提高性能，迎接制造最先進的MEMS設備挑戰(zhàn)。

2.您對新冠病毒（COVID-19）之后MEMS市場的發(fā)展有什么看法？哪些應用部門會有明顯的增長？

新冠疫情最大的影響是對我們需要人際互動的部分業(yè)務的影響。邊境封鎖限制了我們啟動新系統和為客戶提供現場支持的能力。我們嘗試使用虛擬現實（VR）解決方案來緩解該問題，但由于安全問題，以及無法在無塵車間內維持Wi-Fi信號，這一方案變得復雜起來。我們設法通過視頻會議和電子郵件提供支持，但這具有挑戰(zhàn)性。

MEMS市場正在并將繼續(xù)增長。COVID-19對MEMS的影響與其對芯片市場的影響相似。鑒于最近的大流行病，生物MEMS顯然將成為設計者的一個增長及機會的領域。MEMS可以在新冠病毒的非侵入性檢測中發(fā)揮很大作用。

3.由于芯片短缺情況正在向越來越多的地區(qū)蔓延，供應鏈也面臨壓力，您認為這是否會影響到MEMS領域？您對明年的MEMS發(fā)展有什么期望？

預計芯片短缺會對MEMS產生影響是合理的。 如果代工廠同時提供半導體以及MEMS的生產，那么這種平衡將在需求中得到權衡。MEMS將繼續(xù)以穩(wěn)定的速度發(fā)展。新的創(chuàng)新將來自于設計公司，他們的挑戰(zhàn)之一可能是為新設計的 “概念驗證 “獲得晶圓供應。此外，這種小批量的定價將大大增加。

4.有說法指出，用于汽車的MEMS將有第二次增長浪潮。您對此有什么看法？

我同意這個觀點。如果您看一下未來的汽車銷售，增長將來自于電動汽車。因此，MEMS的使用量很大，遠遠高于傳統汽車。另外，隨著自動駕駛和智能高速公路的推動，MEMS和傳感器將發(fā)揮越來越重要的作用。

5.由于車輛使用的部件有更嚴格標準，那車輛和其他應用領域，例如移動設備，MEMS產品的制造過程有什么不同？

這與設備制造的可靠性及可重復性有關。Memsstar一直專注于性能，因此，無論供應給哪個部門，制造商都會受益。

6.除了汽車和移動設備，您認為還有哪些應用領域會在未來推動MEMS的發(fā)展？

未來MEMS發(fā)展的一些應用可能包括：1）可穿戴設備中的麥克風和慣性MEMS；2）氣體傳感器和環(huán)境組合，其幫助監(jiān)測室內外空氣質量；3）用于LiDAR和AR/VR的光學MEMS；4）MEMS微型揚聲器；5）用于病毒檢測的生物MEMS應用；6）植入式應用。