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南大光電:預(yù)計(jì)今年底建成一條光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)

作者: 時(shí)間:2019-07-19 來(lái)源:南大光電 收藏

在互動(dòng)平臺(tái)透露,公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部,并成立了全資子公司“寧波材料有限公司”,全力推進(jìn)“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和項(xiàng)目”落地實(shí)施。目前該項(xiàng)目完成的研發(fā)技術(shù)正在等待驗(yàn)收中,預(yù)計(jì)2019年底建成一條光刻膠生產(chǎn)線(xiàn),項(xiàng)目基地建設(shè)順利。

本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/201907/402866.htm

官網(wǎng)顯示,是一家專(zhuān)業(yè)從事高純研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè),公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

憑借30多年來(lái)的技術(shù)積累優(yōu)勢(shì),公司先后攻克了國(guó)家863計(jì)劃M(mǎn)O源全系列產(chǎn)品、國(guó)家“02—專(zhuān)項(xiàng)”高純電子氣體(砷烷、磷烷)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD前驅(qū)體產(chǎn)業(yè)化等多個(gè)困擾我國(guó)數(shù)十年的項(xiàng)目,填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白。2017年,南大光電承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

通過(guò)承擔(dān)國(guó)家重大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料和光刻膠四大業(yè)務(wù)板塊。



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