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采用2602型源表進(jìn)行激光二極管模組和VCSEL直流生產(chǎn)測(cè)試

作者: 時(shí)間:2017-01-12 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
激光二極管(Laser diode,LD)和垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)在光通信、光譜學(xué)和其他許多重要應(yīng)用中是兩種主要的元器件。隨著對(duì)上述應(yīng)用的需求的增長(zhǎng),對(duì)這兩類基本元件的需求也隨之增長(zhǎng),這就要求人們更加注重于開發(fā)精確且成本經(jīng)濟(jì)性好的生產(chǎn)測(cè)試策略。

典型的激光二極管模組由一個(gè)激光二極管和背光探測(cè)二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個(gè)半導(dǎo)體制冷器(thermoelectric controller,TEC)和一個(gè)熱敏電阻以便對(duì)激光二極管工作溫度進(jìn)行精確調(diào)節(jié),如圖1所示。(另外,在高速激光二極管模組中還包括一個(gè)集成的調(diào)制器芯片,未在圖1中示出)。

本文引用地址:http://m.ptau.cn/article/201701/337931.htm

圖1. 典型激光二極管模組

圖2. 簡(jiǎn)化的垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)(來源:Kartalopoulos)

相比于標(biāo)準(zhǔn)的激光二極管,垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL具有更為復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),但其封裝結(jié)構(gòu)一般更為簡(jiǎn)單。典型VCSEL結(jié)構(gòu)的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發(fā)射激光二極管,VCSEL可實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)測(cè)試,這一特點(diǎn)同時(shí)為VCSEL的測(cè)試提供了機(jī)遇和挑戰(zhàn),在下面部分將對(duì)其進(jìn)行探討。

需要記住的是,無論這兩種器件中的哪一種,都需要多步工序完成制造。制造中的每一個(gè)工藝步驟本質(zhì)上關(guān)乎器件價(jià)值的增長(zhǎng),這決定了人們要在執(zhí)行下一步組裝工藝之前進(jìn)行元器件測(cè)試。例如,由于背光探測(cè)二極管失效導(dǎo)致整個(gè)激光二極管模組報(bào)廢的成本,要遠(yuǎn)高于在組裝前對(duì)光電二極管進(jìn)行完全測(cè)試的成本??焖凫`活的測(cè)試方案對(duì)于減小測(cè)試的成本至關(guān)重要。

在本文中,詳細(xì)介紹了幾種可以滿足現(xiàn)今生產(chǎn)環(huán)境中高通量要求的、高成本效益的直流測(cè)試系統(tǒng)。



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