為了產(chǎn)生這種特殊的光，EUV用激光蒸發(fā)熔融錫發(fā)出極紫外光波，然后使用鏡子將輻射聚焦到芯片上。世界上只有一家公司—— ASML Holding NV能制造出EUV設(shè)備，其成本超過1.5億美元，由10萬個獨立的組件組成。

從EUV光刻機購買量來看，世界上沒有一家公司能比得過臺積電這個全球最大的芯片代工廠。它目前已擁有80多臺EUV，并且正在安裝新一代機器，作為位于中國臺灣南部城市臺南一家價值200億美元的芯片代工廠的一部分。由于運行EUV需要大量的電力，預計臺積電將很快消耗比斯里蘭卡整個2100萬人口更多的能源。2020年，該公司約占臺灣地區(qū)整體能源消耗的6%。預計到2025年將提高到12.5%。

臺灣地區(qū)桃園市國立中央大學管理學講座教授梁志遠表示，除非芯片制造商開始建設(shè)自己的發(fā)電廠，否則臺灣地區(qū)將沒有足夠的電力容量來容納其半導體產(chǎn)業(yè)。

綠色和平組織的氣候和能源活動家Tracy Cheng說?！芭_積電將占據(jù)臺灣地區(qū)的大部分能源供應，這將損害其他行業(yè)。

韓國芯片制造巨頭 三星電子，也面臨著類似的挑戰(zhàn)。該公司在該國經(jīng)營著六個半導體生產(chǎn)基地，到2021年占其電力消耗的3%。由于三星試圖通過為外部客戶制造芯片來更直接地與臺積電競爭，因此三星正在尋求擴大其對EUV的使用。該公司擁有的機器比臺積電少，盡管它沒有公開說明它有多少臺。

韓國60%以上的電力仍然來自燃燒煤炭和天然氣。該國的目標是到2030年將碳排放量從2018年的水平減少40%。這樣的努力需要到2030年將韓國可再生能源的份額從2021年的7.5%提高到30%以上。

英特爾公司這家總部位于美國的主要芯片制造商在可再生能源方面的表現(xiàn)優(yōu)于亞洲同行，部分原因是它可以在亞利桑那州，新墨西哥州和俄勒岡州的工廠獲得綠色能源。該公司在2021年獲得80%的電力來自可再生能源，高于前一年的71%。但由于先進的制造技術(shù)，其整體用電量也在顯著增加。

在全球范圍內(nèi)，聲稱希望降低碳排放的國家也渴望建立國內(nèi)半導體制造能力，以抵御供應鏈沖擊。美國最近通過520億美元的計劃來大力提升其芯片生產(chǎn)能力，此外歐洲的芯片法案也包括490億美元的投資，以重振歐盟內(nèi)的行業(yè)?，F(xiàn)在看來歐洲和美國，環(huán)境影響已經(jīng)不是一個重要的考慮因素了。“這些芯片法案投資巨大，但是都沒有明確用于與氣候相關(guān)的目標?！?彭博NEF日本和韓國研究主管David Kang說。

ASML正在經(jīng)歷前所未有的需求。彭博情報高級分析師若杉正弘（Masahiro Wakasugi）預測，到2023年，該公司的年銷售額可能會增長30%以上，達到約260億美元，盡管來自美國的壓力，要求停止向中國提供制造不太先進的芯片的設(shè)備。首席財務官羅杰·達森（Roger Dassen）在4月份表示，ASML正在調(diào)研到2025年將其EUV的出貨量從最初的70臺目標增加到90臺的可能性。

整體來說，雖然有機會找到更環(huán)保的方式制造芯片，但沒有任何廠商愿意放慢腳步。Ragnarsson認為，半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過于迅速，也有很多問題需解決，但這需要時間和成本，如果什么都不做，問題只會更糟。