rf mems 文章進(jìn)入rf mems技術(shù)社區(qū)

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

　　1 引言　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報(bào)、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點(diǎn)，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
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MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)與制作

　　1 引言　　風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對(duì)熱體的對(duì)流作用來測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè)精密的熱源，通過把兩對(duì)相對(duì)的熱源與熱電偶正交放置測量風(fēng)向。超聲測風(fēng)儀可以同時(shí)進(jìn)行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應(yīng)測量風(fēng)速，用三個(gè)或者四個(gè)探頭根據(jù)三角關(guān)系測量風(fēng)向信息?；贛EMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點(diǎn)，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器受到了研究者的重視。　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
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泰克新型中端實(shí)時(shí)頻譜分析儀提供實(shí)時(shí)RF技術(shù)

俄勒岡州畢佛頓, 2008年2月5日訊 – 全球領(lǐng)先的測試、測量和監(jiān)測儀器提供商--泰克公司日前宣布，在中端RSA3000B系列實(shí)時(shí)頻譜分析儀中增加DPX?數(shù)字熒光技術(shù)。工程師可以使用RSA3300B和RSA3408B系列實(shí)時(shí)頻譜分析儀，以獨(dú)一無二的方式實(shí)時(shí)查看頻譜的RF信號(hào)，為各種數(shù)字RF應(yīng)用提供前所未有的RF信號(hào)查看功能，包括RFID、無線電管理和頻譜管理。DPX能夠轉(zhuǎn)換大量的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，生成實(shí)時(shí)RF頻譜畫面，揭示以前看不到的RF信號(hào)和異常信號(hào)。數(shù)字RF應(yīng)用的迅速擴(kuò)大，推
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美信關(guān)閉美國晶圓廠準(zhǔn)備退出RF領(lǐng)域

　　為了削減成本，美信集成產(chǎn)品公司(Maxim Integrated Products)宣布逐漸降低它在美國達(dá)拉斯晶圓廠的產(chǎn)量，最終關(guān)閉該工廠。　　美信還宣布將對(duì)某些業(yè)務(wù)進(jìn)行重組，包括決定停止向其手機(jī)RF收發(fā)器產(chǎn)品線研發(fā)業(yè)務(wù)投資。美信沒有宣布任何裁員計(jì)劃。預(yù)計(jì)在計(jì)入資產(chǎn)減值之前，美信將提列1,000萬美元的一次性費(fèi)用。資產(chǎn)減值金額尚未確定。　　關(guān)閉在達(dá)拉斯的工廠，美信似乎在某些方面正在走向外包策略。美信表示：“此舉是最近戰(zhàn)略制造伙伴愛普生成功地上馬新產(chǎn)能的結(jié)果?！? 　　去
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Mirics 新增廣播調(diào)諧產(chǎn)品系列，用于便攜消費(fèi)電子產(chǎn)品和手持應(yīng)用

　　來自英國的為地面廣播接收應(yīng)用提供創(chuàng)新可配置 RF 解決方案的Mirics 半導(dǎo)體公司，今天宣布其產(chǎn)品系列新增了 MSi002 多波段調(diào)諧器 IC。 MSi002 調(diào)諧器帶有工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 12C 控制接口，可支持老式單一標(biāo)準(zhǔn)和多標(biāo)準(zhǔn)解調(diào)器 IC。Mirics 通過使用創(chuàng)新設(shè)計(jì)技術(shù)進(jìn)行工程設(shè)計(jì)，MSi002 能夠向消費(fèi)電子設(shè)備提供高性能廣播接收解決方案，這些電子設(shè)備包括移動(dòng)手持設(shè)備、便攜收音機(jī)、PMP、筆記本電腦和 USB TV 加密狗。該裝置是對(duì) Mirics 的突破性 MSi001 調(diào)諧器的補(bǔ)充，MSi
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MEMS傳感器進(jìn)駐汽車發(fā)動(dòng)機(jī)

　　近年來，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀(jì)80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的
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MEMS機(jī)油壓力傳感器可靠性研究

1 引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機(jī)電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動(dòng)機(jī)共軌壓力、機(jī)油壓力、歧管空氣進(jìn)氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機(jī)油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動(dòng)機(jī)油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳
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汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

摘要：本文通過大量的文獻(xiàn)資料，評(píng)述汽車MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點(diǎn)介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時(shí)對(duì)該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、力敏器件。一、引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個(gè)方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
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傳統(tǒng)半導(dǎo)體廠商對(duì)MEMS的思考

最近幾年來MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術(shù)在國內(nèi)外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開拓性的應(yīng)用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會(huì)迅速掘起，預(yù)計(jì)2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
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傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運(yùn)轉(zhuǎn)”離不開傳感器的保駕護(hù)航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號(hào)傳遞到動(dòng)力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達(dá)到汽車正常駕駛的目的。
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三軸加速度計(jì)在水下結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試中的應(yīng)用

電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡(luò)家園
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SiGe半導(dǎo)體推出全新射頻前端模塊實(shí)現(xiàn)無線多媒體應(yīng)用

　　SiGe半導(dǎo)體公司現(xiàn)已推出兩款高性能射頻 (RF) 前端模塊，型號(hào)為 SE2547A 和 SE2548A，可在游戲控制臺(tái)、臺(tái)式電腦與筆記本電腦和家庭接入點(diǎn)等客戶端訪問設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)新的無線多媒體服務(wù)。　　SE2547A 和 SE2548A是完整的802.11a/b/g/n WLAN RF前端模塊，可為雙頻帶Wi-Fi? 系統(tǒng)提供收發(fā)器和天線之間所需的全部功能。每個(gè)器件模塊均經(jīng)過全面測試，并整合了必需的功率放大器、濾波器、功率檢測器、分集開關(guān)、雙工器以及相關(guān)匹配電路，而尺寸大小僅為25 平方毫
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富士通開發(fā)出世界首枚航空領(lǐng)域維修信息管理RFID電子標(biāo)簽

　　富士通集團(tuán)近日宣布，其開發(fā)出了世界上首枚配置有航空領(lǐng)域維修信息管理的64KB大容量FRAM的UHF頻帶RFID電子標(biāo)簽。　　該電子標(biāo)簽配置有用于保存飛機(jī)零部件及安裝信息所需的大容量FRAM，采用UHF頻帶RFID的國際標(biāo)準(zhǔn)EPCglobal Class1 Generation2規(guī)格，可適用于各個(gè)國家規(guī)定的不同頻段。這樣，在世界各國就可以通過對(duì)飛機(jī)零部件及安裝信息施行全球通用的管理、進(jìn)行高質(zhì)高效的飛機(jī)維修。　　近年來，航空領(lǐng)域?yàn)榱颂岣呔S修精度，正努力加強(qiáng)對(duì)零部件的管理。但對(duì)管理中使用的RFID電
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飛思卡爾建成先進(jìn)的200-mm MEMS生產(chǎn)線

　　飛思卡爾半導(dǎo)體建成先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設(shè)在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對(duì)公司在日本仙臺(tái)的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補(bǔ)充。　　隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)仍顯得至關(guān)重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領(lǐng)先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實(shí)現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
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兼容RS-232的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)無線接口設(shè)

　　前言　　隨著通信、信息技術(shù)和微電子技術(shù)的飛速發(fā)展，短距離無線通信的應(yīng)用步伐不斷加快。在短距離無線數(shù)據(jù)通信中，目前最為成熟的三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)是：Bluetooth, 802.11(Wi_Fi)和IrDA。RFID和UWB憑借其獨(dú)有的特點(diǎn)成為短距離無線數(shù)據(jù)傳輸技術(shù)的后起之秀。　　RS-232接口標(biāo)準(zhǔn)是一種廣泛的普及標(biāo)準(zhǔn)，但此標(biāo)準(zhǔn)推出較早，在現(xiàn)代金融、保險(xiǎn)、電信和電子化網(wǎng)絡(luò)中已暴露出明顯的問題：信號(hào)線易受外界干擾;RS-232采取不平衡傳輸方式，其共模抑制能力差，再加上雙絞線上的分布電容，其傳送距離最大約為
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