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FrostSullivan：MEMS測試設(shè)備急需低成本、標(biāo)準(zhǔn)化
- 市場研究機構(gòu)Frost & Sullivan公司最新報告稱，目前MEMS測試設(shè)備價格高昂，低成本標(biāo)準(zhǔn)化成迫切需求。 報告稱，2007年全球MEMS測試設(shè)備市場額為5650萬美元，而到2014年將增長到1.202億美元。目前MEMS器件制造商必須面對高昂的設(shè)備價格（約100萬美元），設(shè)備的專用化（customization）也導(dǎo)致了賣主進一步增加成本，另外，MEMS測試設(shè)備缺乏靈活性，多數(shù)僅能進行電學(xué)測試或機械測試。 因此，多數(shù)MEMS廠商除非必須才會購買測試設(shè)備，而多數(shù)用戶
- 關(guān)鍵字： MEMS 測試設(shè)備
用RF-MEMS實現(xiàn)可調(diào)諧天線
- 針對移動應(yīng)用的天線設(shè)計正變得越來越復(fù)雜，需要靈活的MEMS技術(shù)來滿足集成新特性和新應(yīng)用的要求。天線調(diào)諧器件...
- 關(guān)鍵字： 天線設(shè)計 變?nèi)荻O管 調(diào)諧 RF-MEMS 線性度 直接耦合 可調(diào)濾波器 MEMS器件 路徑隔離 電容元件
基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設(shè)計
- 在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數(shù)對于魚類仿生推進機理研究及工程應(yīng)用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測方法。這種方法受到環(huán)境與設(shè)備的限制，結(jié)果精確度較差。本設(shè)計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現(xiàn)了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數(shù)的精確測量，為國內(nèi)首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數(shù)測量實驗打下了基礎(chǔ)，為機器魚仿生推進設(shè)計理論提供支撐。 1 設(shè)計要求和系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 根據(jù)活體魚類的生物特征和實驗本身的特
- 關(guān)鍵字： ARM MEMS
閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計與驅(qū)動仿真
- 基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為：平行的復(fù)合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅(qū)動電路驅(qū)動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉(zhuǎn)不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經(jīng)過成像鏡頭后形成彩色畫面。 微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計的基本要求 閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達到便攜應(yīng)用和投影應(yīng)用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計需滿足以下基本要求。 盡可能減小顯示單元的尺寸 為了得到準(zhǔn)確的基色，要求
- 關(guān)鍵字： MEMS 閃耀光柵數(shù)字微鏡 結(jié)構(gòu) 驅(qū)動
單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統(tǒng)
- 摘要：傳感器技術(shù)是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術(shù)的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2-18。 關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調(diào)理；檢測電路 電容式傳感器工作原理 ? 電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
- 關(guān)鍵字： 單電容式 差分電容式 MEMS 傳感器 200803
MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
- 1 引言 大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
- 關(guān)鍵字： MEMS
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