iso國際標準 文章 進入iso國際標準技術(shù)社區(qū)
半導(dǎo)體線寬檢測的首個ISO國際標準發(fā)布
- 近日，國際標準化組織（ISO）正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項國際標準：“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），該標準由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心的丁澤軍團隊主導(dǎo)制定，是半導(dǎo)體線寬測量方面的首個國際標準，也是半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域由中國主導(dǎo)制定的首個國際標準，
- 關(guān)鍵字： 半導(dǎo)體 ISO國際標準 線寬檢測
中國科大主導(dǎo)制定半導(dǎo)體線寬檢測的首個ISO國際標準
- 近日,國際標準化組織(ISO)正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項國際標準:“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)),該標準由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心的丁澤軍團隊主導(dǎo)制定,是半導(dǎo)體線寬測量方面的首個國際標準,也是半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域由中國主導(dǎo)制定的首個國際標準,
- 關(guān)鍵字： 半導(dǎo)體線寬檢測 ISO國際標準
| 共2條 1/1 1 |
iso國際標準介紹
您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條iso國際標準!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對iso國際標準的理解，并與今后在此搜索iso國際標準的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對iso國際標準的理解，并與今后在此搜索iso國際標準的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473