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國產(chǎn)光刻機工廠落地雄安?中國電子院澄清:這是北京高能同步輻射光源

  • 近期,一則消息在各大視頻平臺廣為傳播,稱清華大學(xué)EUV項目把ASML的光刻機巨大化,實現(xiàn)了光刻機國產(chǎn)化,并表示這個項目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。對此,中國電子工程設(shè)計院有限公司(下稱中國電子院)9月18日發(fā)聲,稱該項目并非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機工廠,而是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。北京高能同步輻射光源項目坐落于北京懷柔雁棲湖畔,是國家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施,它是我國第一臺高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項目早在2019年就開始建設(shè)、將于2025年底投入使用。北京高能同步
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高能同步輻射光源介紹

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