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MEMS硅壓阻汽車壓力傳感器特性詳解

  • 摘要：文中介紹通過采用MEMS（micro electro mechanical systems）技術制造的硅壓阻力敏元件結合智能集成化信號調 ...
  • 關鍵字： MEMS  硅壓阻  汽車壓力  傳感器  
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硅壓阻介紹

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