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波導(dǎo)SOl化學(xué)氣相沉積工藝特點(diǎn)

  • 對于SOl波導(dǎo)來說,CVD技術(shù)一般用來淀積其上包層,通常為二氧化硅或氮化硅。對于調(diào)制器等有源器件來說,這一層還起著隔離金屬電極減小電極對波導(dǎo)造成損耗的作用,所以厚度一定要選擇合適,不能太薄,如果薄了就不能起
  • 關(guān)鍵字: 工藝  特點(diǎn)  沉積  氣相  SOl  化學(xué)  波導(dǎo)  

基于MEMS技術(shù)的微型氣相色譜柱的研究(

  • 1 引言氣相色譜法(GC)是英國生物化學(xué)家MartinATP等人在研究液液分配色譜的基礎(chǔ)上,于1952年創(chuàng)立的一種極有效的分離方法,它可分析和分離復(fù)雜的多組分氣體混合物。目前的氣相色譜系統(tǒng)主要包括5個(gè)主要部分:載氣、進(jìn)樣
  • 關(guān)鍵字: 色譜  研究  氣相  微型  MEMS  技術(shù)  基于  

氣相色譜儀的使用方法

  • 氣相色譜儀的使用方法一、色譜儀的安裝 1.對色譜儀分析室的要求 (1)分析室周圍不得有強(qiáng)磁場,易燃及強(qiáng)腐蝕性氣 ...
  • 關(guān)鍵字: 氣相  色譜儀  

氣相色譜(GC)的基本原理

  • 氣相色譜(GC)的基本原理GC是以惰性氣體作為流動(dòng)相,利用式樣中個(gè)組分在色譜柱中的氣相和固定相間的分配系數(shù) ...
  • 關(guān)鍵字: 氣相  色譜  
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氣相介紹

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