- 本文基于濺射薄膜技術研制微壓傳感器，充分發(fā)揮濺射薄膜技術優(yōu)勢，通過改進芯體結構解決了輸出靈敏度低的難題。使用PGA900信號調理器對薄膜微壓傳感器進行信號調理，通過內置算法實現傳感器溫度補償和性能優(yōu)化。經過試驗驗證，傳感器的性能穩(wěn)定、輸出特性良好，達到了同類產品的較高水平。
- 關鍵字：
PGA900 微壓傳感器 濺射薄膜 信號調理 202201
- 微壓傳感器在測量過程，即壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時通過電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號得過程。
對于微壓傳感器來說，靈敏度和線性度是微壓力傳感器最重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中，發(fā)現一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現了在滿量程范圍內不同壓力值
- 關鍵字：
微壓傳感器 膜片
微壓傳感器介紹
微壓傳感器，亦稱微壓壓力傳感器，是一種用于測量微小壓力的傳感器，適用于介質壓力微弱的場合的測量與控制。微壓傳感器的壓力形式有表壓、絕壓、負壓和差壓，是工業(yè)實踐中最為常用的一種壓力傳感器?！ ∥簜鞲衅鳎涔ぷ髟硎潜粶y介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號?！ ?.量 程: [
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