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上海微系統所聯合國家重點實驗室，共同研發(fā)全球最小、成本最低MEMS壓力傳感器芯片
- 近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感技術聯合國家重點實驗室李昕欣老師課題組在 Journal of Micromechanics and Microengineering 期刊上發(fā)表最新的 MEMS 傳感器 研究成果——利用無疤痕微創(chuàng)手術（MIS）制造超小型 MEMS 壓力傳感器。
- 關鍵字： 上海微系統所 MEMS壓力傳感器芯片 國家重點實驗室
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