靜止誤差—NanoPWMvs線性驅(qū)動(dòng)器
測(cè)試結(jié)果在表6中，總結(jié)在表格3中

表6 –NanoPWM（紅色）VS線性驅(qū)動(dòng)器（黃色）靜止抖動(dòng)

Table 3 - NanoPWM (紅色) VS 線性驅(qū)動(dòng)器 (黃色) 靜止抖動(dòng)

使用NanoPWM驅(qū)動(dòng)器比使用線性驅(qū)動(dòng)器時(shí)的靜止抖動(dòng)明顯減?。ㄐ?.5倍：0.8nmVr3.6nm）

低速跟隨誤差-NanoPWM VS線性驅(qū)動(dòng)器.
跟隨誤差是在1mm/s的速度下測(cè)量的，測(cè)試結(jié)果在表圖7中，總結(jié)在表格4中

圖7 NanoPWM驅(qū)動(dòng)器（紅色）VS線性驅(qū)動(dòng)器（黃色）的跟隨誤差

NanoPWM 線性驅(qū)動(dòng)器

Table 4 - NanoPWM (紅) VS線性驅(qū)動(dòng)器 (黃) 跟隨誤差

使用NanoPWM驅(qū)動(dòng)器時(shí)跟隨誤差明顯減小，結(jié)果得到跟平滑的運(yùn)動(dòng)軌跡，這樣的軌跡在晶圓檢測(cè)過(guò)程中十分重要。

靜止誤差-NanoPWM VS標(biāo)準(zhǔn)PWM驅(qū)動(dòng)器

測(cè)試結(jié)果見(jiàn)圖8，表5進(jìn)行了總結(jié)

圖8-NanoPWM（紅色）vs PWM（黃色）靜止抖動(dòng)

Table 5 - NanoPWM (紅色) VS PWM drive (黃色) 靜止抖動(dòng)

使用NanoPWM驅(qū)動(dòng)器的靜止誤差比使用標(biāo)準(zhǔn)PWM驅(qū)動(dòng)器小兩個(gè)數(shù)量級(jí)。平板顯示器加工系統(tǒng)比較龐大，對(duì)于馬達(dá)電壓和電流的要求超過(guò)了目前商業(yè)化了的線性馬達(dá)的容許能力。有機(jī)LED顯示要求更高的精確度，跟隨精度和靜止抖動(dòng)，都要在幾個(gè)納米的誤差范圍內(nèi)。NanoPWM給這樣的需求提出了解決方案。

總結(jié)
本文介紹了一直新型的線性開(kāi)關(guān)伺服驅(qū)動(dòng)器-NanoPWM,這種驅(qū)動(dòng)器具有線性驅(qū)動(dòng)器和PWM驅(qū)動(dòng)器的所有優(yōu)點(diǎn)。使用NanoPWM驅(qū)動(dòng)器得到的運(yùn)動(dòng)性能超過(guò)了目前已經(jīng)商業(yè)化了的線性伺服驅(qū)動(dòng)器的性能。這種驅(qū)動(dòng)器更小，更可靠，更便宜。

這種驅(qū)動(dòng)器可以滿足更高的運(yùn)動(dòng)性能需求，適合半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)和平板顯示器制造系統(tǒng)。