基于CAV424的電容式壓力傳感器測量電路設(shè)計
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式中：
VM 為參考電壓2 5 V; Ic 為2個積分器的充電電流， 這里取常數(shù)5 A; fOSC為參考振蕩器頻率范圍，其由被測電容的最小值決定。
2 硬件電路及軟件設(shè)計
2. 1 系統(tǒng)設(shè)計
該系統(tǒng)主要以CAV424檢測芯片和微處理器控制模塊為核心， 另外還有輸出顯示模塊以及電源模塊等。系統(tǒng)框圖如圖2所示。
圖2 系統(tǒng)框圖。
CAV424檢測芯片在系統(tǒng)中主要任務(wù)是將傳感器的差動電容信號轉(zhuǎn)換為可測的電壓信號。差動式壓力傳感器的低壓端連接C X1參考電容端，高壓端連接C X2被測電容端， 這樣連接可以保證輸出電壓始終為正。
2. 2 電容檢測電路設(shè)計
根據(jù)硅電容壓力傳感器核心器件可看成由中心可動電極和兩邊的固定電極組成的2個可變電容， 其敏感電容可以簡單地認為是平板電容，而平板電容公式為：
并且將C X1參連接到差壓的高壓端， C X2連接到低壓端。由此可得C X1參和C X2表達式：
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