6 實驗結果
對系統(tǒng)各部分進行調試。用高壓探頭測試電壓波形，用羅果夫斯基線圈測試電流波形。測試的實驗波形如圖4、圖5和圖6所示。

圖4中，縱坐標為電壓幅度值(2通道2 kV／格，4通道200 mV／格)。通道2為電壓波形，電壓約為5 kV，脈沖寬度為10μs，上升沿小于lμs。通道4為電流波形，電流值約85 A(波形圖中比例為l：500)。圖5中，脈沖周期為5 ms，重復頻率為200 Hz。圖6中，縱坐標為電壓幅度值(1通道5 kV／格，2通道2V／格)。l通道為放電電壓波形，2通道為放電電流波形。從波形圖中可以看出，脈沖當電壓加在氣體上時，大約經過幾微秒時間后，氣體發(fā)生電離。此時由于分壓原因，電壓幅值略有下降，電流波形開始出現(xiàn)。在脈沖電壓加載期間，氣體維持了電離狀態(tài)。

7 結束語
以可調直流高壓電源、高壓IGBT、高壓脈沖變壓器、工控計算機和數(shù)據(jù)采集控制卡為核心部件的5 kV重復頻率高壓脈沖電源，具備脈沖電壓、脈沖頻率和脈沖寬度等參數(shù)可以同時調節(jié)的特點，為開展其他指標的脈沖電源研制提供了一種可行的技術途徑。從測試結果來看，整個系統(tǒng)完全達到了指標要求，為開展毛細管放電x線激光的研究提供了必要的研究條件。